Фотоник интеграль схема (рәсем) материал системасы
Кремний фотониклары, кремний материалларына нигезләнеп яктылыкка юнәлтү өчен Планлаштыручы структуралар кулланган диспенар корылмалар кулланган. Без монда кремний фотоникларны куллануда, җепсел оптик элемтә өчен кабул итүчеләр кулланып игътибар итәбез. Бирелгән киңлек киңлегендә, бирелгән эзлекле темплар өстәргә кирәклеге буларак, бирелгән эзләр һәм бирелгән чыгымнар арта, кремний фотоника икътисадый яктан дөресрәк була. Оптик өлеш өчен,Фотоник интеграция технологиясеКулланылырга тиеш, һәм күпчелек бердәм транссиннар аерым LINBO3 / Планар яктылык схемасы ярдәмендә төзелгән - модуляторлар һәм инп / плк алучылар.
Рәсем 1: Фотоник интеграль схема (рәсем) материал системалары.
1-нче рәсем иң популяр рәсем материал системаларын күрсәтә. Сулдан уңнан уңнан уңнан кремний фриклица (plc дип тә атала), кремний нигезендәге изолятор рәсеме (Силикон Фотоника), III-V төркем рәсеме, III-V төркем рәсеме, мәсәлән, III-V төркем рәсеме. Бу кәгазь кремний нигезендә фотоникага юнәлтелгән. КерепКремикон фотониклар. Кремний мичтә саф кристалллар рәвешендә үстерелә, аннары сафка киселә, бу бүген диаметры 300 мм. Вафер өслеге кремний катламын формалаштыру өчен оксидлаштырыла. Скоресның берсе водород атомнары белән билгеле бер тирәнлеккә бомбардирланган. Аннары ике катлык вакуумга кушыла, һәм аларның оксид катламнар бер-берсенә бәйләнәләр. Ассамблея водороген имплантация сызыгы буенча өзелә. Чакырылган кремний катламы ул вакытта бизәлгән, ахыр чиктә "Эчке Кремний" интактив кремний өстендә "эшкәртү" ваферы өстендә. WaveGeides бу нечкә кристалл катламыннан формалаша. Бу кремнийга нигезләнгән изолятор (соя) бозу кремний фотоникасы белән булганда, дулкыннарда мөмкин булган очракта, алар түбән агып чыгу токым аркасында алар еш кына түбәнрәк кулланыла.
Кремний нигезендә оптик дулкыннарның күп формалары бар, 2 нче рәсемдә күрсәтелгәнчә. Алар микроскаль геряндоланган кремика дулкыннарыннан Наноскал Кремний Вавекидска кадәр. Германияне кушып, ясарга мөмкинФотудетекторларһәм электр сеңдерүМодульаторлар, һәм, мөгаен, хәтта оптик көчәйткечләр. Кремнийоптик модуляторясарга мөмкин. Сулдан уңнан уңга: кремний чыбыклы дулкыннар, кремний чыбык дулкыны, кремний крейлид дулкыны, калын Кремний дулкыны дулкын, нечкә кремний нитуроиды һәм допта кремний дулкынлы. Өстә, сулдан уңга, бетү модульчеләре, герюин фотодетекторлары, герешийОптик амплиферлар.
Рәсем 2: Кремний нигезендә оптик дулкынлы серияләрнең кросс бүлеге, типик таралу югалтулары һәм комачаулык күрсәткечләре күрсәтелә.
Пост вакыты: Июль-15-2024