Фотоник интеграль схема (PIC) материал системасы
Кремний фотоникасы - төрле функцияләргә ирешү өчен яктылыкны юнәлтү өчен кремний материалларына нигезләнгән планар структураларны кулланган дисциплиналар. Без монда кремний фотоникасын оптик элемтә өчен тапшыргычлар һәм кабул итүчеләр булдыруда кулланабыз. Бирелгән киңлек киңлегендә, бирелгән эз эзендә, һәм бәяләр арта барган саен, кремний фотоникасы экономик яктан ныграк була. Оптик өлеш өчен,фотоник интеграция технологиясекулланылырга тиеш, һәм бүгенге көндә күпчелек тәңгәл транссиверлар аерым LiNbO3 / планар якты дулкын схемасы (PLC) модульаторлары һәм InP / PLC кабул итүчеләре ярдәмендә төзелгән.
Рәсем 1: Гадәттә кулланылган фотоник интеграль схема (PIC) материал системаларын күрсәтә.
1 нче рәсемдә иң популяр PIC материал системалары күрсәтелгән. Сулдан уңга кремний нигезендәге кремний PIC (шулай ук PLC дип тә атала), кремний нигезендәге изолятор PIC (кремний фотоника), литий ниобат (LiNbO3), һәм InP һәм GaAs кебек III-V төркем PIC. Бу кәгазь кремнийга нигезләнгән фотоникага юнәлтелгән. Керүкремний фотоника, яктылык сигналы, нигездә, 1,12 электрон вольтның турыдан-туры диапазоны булган кремнийда йөри (дулкын озынлыгы 1,1 микрон белән). Кремний мичләрдә саф кристалл рәвешендә үстерелә, аннары диаметры 300 мм булган ваферларга киселә. Кремний катламы формалашу өчен вафин өслеге оксидлаштырыла. Ваферларның берсе водород атомнары белән билгеле бер тирәнлектә бомбардировать ителә. Аннары ике вафер вакуумга кушылалар һәм аларның оксид катламнары бер-берсенә бәйләнәләр. Водород ион имплантациясе сызыгы буенча җыю өзелә. Ярыктагы кремний катламы соңыннан чистартылган, ахыр чиктә кремнийның нечкә катламын кремний катламы өстендә кремний "тоткыч" вафаты өстендә калдырган. Дулкын саклагычлары бу нечкә кристалл катламнан барлыкка килә. Бу кремнийга нигезләнгән изолятор (SOI) ваферлары аз югалткан кремний фотоник дулкын саклагычларын мөмкин итсәләр дә, алар түбән агымлы CMOS схемаларында еш кулланыла, алар аз агып торган ток аркасында.
Кремнийга нигезләнгән оптик дулкынландыргычларның бик күп мөмкинлекләре бар, 2 нче рәсемдә күрсәтелгәнчә. Германийны кушып ясап булафотодетекторларһәм электр үзләштерүмодульаторлар, һәм, мөгаен, оптик көчәйткечләр дә. Кремнийны допинг белән, аноптик модульаторясарга мөмкин. Сулдан уңга төбе: кремний чыбык дулкыны, кремний нитрид дулкыны, кремний оксинитрид дулкыны, калын кремний кыры дулкыны, нечкә кремний нитрид дулкыны һәм допед кремний дулкыны. Theгарыда, сулдан уңга тузган модульаторлар, германий фотодетекторлары, германийлар бар.оптик көчәйткечләр.
Рәсем 2: Кремнийга нигезләнгән оптик дулкынландыргыч сериянең кисемтәсе, типик таралу югалтуларын һәм реактив күрсәткечләрен күрсәтә.
Пост вакыты: 15-2024 июль